電子工業潔凈廠房無塵車間空氣凈化工程改造方案
電子工業潔凈廠房無塵車間空氣凈化工程改造方案
電子工業潔凈廠房無塵車間空氣凈化工程改造方案,廠房內只對千級間黃光室設圍護結構，其余房間均為敞開式，凈化區域與非凈化區混合在一起，系統較為混亂，難以控制和調節，凈化區域的潔凈度不能達到要求,系統改造后經高度確保每個房間的風量、正壓達到設計要求，在動態下檢測，廠房的潔凈度、溫濕度、噪聲、照度等各項指標均達到設計要求。尤其是系統改造前問題比較突出的幾個區域，黃光室達到動態千級；護散爐區域經過彩鋼板圍護，其周圍區域溫度達到達設計要求；酸洗槽改為上抽風，斷面風速均達到0．3m／s;風淋室的初、高效過濾器更換后，阻力降低，更換循環風機后風速提高，出口風速達到26m／s。
本文在天津某電子廠房原有的凈化空調工程基礎上，潔凈廠房,無塵車間,空氣凈化工程--電子工業潔凈廠房無塵車間空氣凈化工程改造方案對工藝布置和凈化空調系統提出改造方案，并對方案設計進行了簡單的介紹。
1 原有凈化空調工程情況
1．1 簡況
該廠房位于天津市開發區，建于1995年，主要生產半導體芯片。廠房共建三層，需改造項目位于二層，系統的平面布置如圖1所示。系統總面積1510m2， 其中空調面積385m2， 凈化面積1125m2，凈化級別除黃光室為千級外，其余均為萬級。熱源為廠區生產的0．3MPa的蒸汽，冷源采用螺桿式冷水機組，冷凍水出水溫度為7℃，回水溫度12℃，冷水機組和空氣處理機組位于一層機房內，空氣處理機組采用組裝式凈化用空氣處理機組一臺，風機風量為6000m3／h，機外余壓為800Pa，送風段設置兩條1250mmx800mm的送風管，向系統各房間送風。
1．2 系統存在的主要問題
(1)廠房內只對千級間黃光室設圍護結構，其余房間均為敞開式，凈化區域與非凈化區混合在一起，系統較為混亂，難以控制和調節，凈化區域的潔凈度不能達到要求；
(2)非凈化區域的擴散爐，經測定表面溫度可達50℃，散熱量非常大，在原有設計中存在空調送風量不足問題，造成擴散爐周圍區域的溫度高達37℃，并且回風循環使用，不利于節能；
(3)酸洗槽的排風量不足，平均斷面風速為O．1m／s，酸性物質存留在室內環境中，不能有效地排出，嚴重影響室內的衛生和生產環境；
(4)在廠房潔凈區入口處的風淋室風速為12m／s的要求，需要更換循環風機。
2 改造方案
針對系統運行中出現的的以上情況，經與甲
統風量計如表1所示。K-1系統經計算按照擴散爐的散熱量計算送風量，根據文獻【2】工業爐的散熱量，其中室內設計溫度取30℃，空調送風溫度取20℃，經計算擴散爐的總冷負荷為69kW，空調送風量為20700m3／h根據計算結果JK-2系統仍然采用以前的空調機組(系統機組外阻力為700Pa)，其余兩個系統分別采用新空調機組，其中因為機房位置的限制，JK-1系統空調機組設在原來的空調機機房內，K-1系統空調機組選用吊頂式空調機組，置于夾層內。
(2)JK-1系統在黃光室的入口增設風淋室，因無物流通道，設置傳遞窗，以保證室內的潔凈皮。
(3)JK-2系統主要存在兩個問題：第一是酸洗槽的排風罩設在酸洗槽的側面不利于有害氣體的排出，改造設計中將排風罩設在酸洗槽上方；第二酸洗槽的排風量根據生產要求，槽的斷面風速達到0．25m／s，當所有酸洗槽同時工作時，排風量高達32200m3／h，所以對排風的能源進行回收，設置防酸性熱回收裝置，風量排出前先與新風進行熱量交換進行熱量交換，節約運行費用。
(4)K-1系統，因為護散爐間人員極少進入，全年的運行方案為：夏季因擴散爐的散熱量較大，系統做成全排式；過渡季節當室外溫度低于送風溫度時，停止制冷，將新風作為冷源直接送入室內；冬季因為排風溫度較高，可用排風預熱新風到設計溫度后送入室內，最大限度地節省運行費用，避免能源的浪費。
3 改造后的使用效果
系統改造后經高度確保每個房間的風量、正壓達到設計要求，在動態下檢測，廠房的潔凈度、溫濕度、噪聲、照度等各項指標均達到設計要求。尤其是系統改造前問題比較突出的幾個區域，黃光室達到動態千級；護散爐區域經過彩鋼板圍護，其周圍區域溫度達到達設計要求；酸洗槽改為上抽風，斷面風速均達到0．3m／s;風淋室的初、高效過濾器更換后，阻力降低，更換循環風機后風速提高，出口風速達到26m／s。
本工程改造前主要特點表現在系統工藝布置不合理(未對凈化區及非凈化區時行明確劃分)、混用掙化及非凈化區空調系統，不符合“規范”的要求；酸洗槽排風量不足；護散爐區因送風少及未設局排設施導致環境溫度超標；改造后將生產工藝布局做了適當調整，按照規
范的要求，對凈化區及非凈化區單獨設置空調系統；加大酸洗槽排風量，同時采用了熱排風問收裝置，對補充新風進行預熱 (預冷)，節約能源，降低運行費用。建議在今后的空調工程設計中，對于生產環境有要求的工藝，既應該按照生產過程布置工藝，同時還要考慮到有利于空調凈化系統的調節和控制，保證生產環境的可靠性。
4 結論
K-1系統，因為護散爐間人員極少進入，全年的運行方案為：夏季因擴散爐的散熱量較大，系統做成全排式；過渡季節當室外溫度低于送風溫度時，停止制冷，將新風作為冷源直接送入室內；冬季因為排風溫度較高，可用排風預熱新風到設計溫度后送入室內，最大限度地節省運行費用，避免能源的浪費。
電子工業潔凈廠房無塵車間空氣凈化工程改造方案,廠房內只對千級間黃光室設圍護結構，其余房間均為敞開式，凈化區域與非凈化區混合在一起，系統較為混亂，難以控制和調節，凈化區域的潔凈度不能達到要求,系統改造后經高度確保每個房間的風量、正壓達到設計要求，在動態下檢測，廠房的潔凈度、溫濕度、噪聲、照度等各項指標均達到設計要求。尤其是系統改造前問題比較突出的幾個區域，黃光室達到動態千級；護散爐區域經過彩鋼板圍護，其周圍區域溫度達到達設計要求；酸洗槽改為上抽風，斷面風速均達到0．3m／s;風淋室的初、高效過濾器更換后，阻力降低，更換循環風機后風速提高，出口風速達到26m／s。
本文在天津某電子廠房原有的凈化空調工程基礎上，潔凈廠房,無塵車間,空氣凈化工程--電子工業潔凈廠房無塵車間空氣凈化工程改造方案對工藝布置和凈化空調系統提出改造方案，并對方案設計進行了簡單的介紹。
1 原有凈化空調工程情況
1．1 簡況
該廠房位于天津市開發區，建于1995年，主要生產半導體芯片。廠房共建三層，需改造項目位于二層，系統的平面布置如圖1所示。系統總面積1510m2， 其中空調面積385m2， 凈化面積1125m2，凈化級別除黃光室為千級外，其余均為萬級。熱源為廠區生產的0．3MPa的蒸汽，冷源采用螺桿式冷水機組，冷凍水出水溫度為7℃，回水溫度12℃，冷水機組和空氣處理機組位于一層機房內，空氣處理機組采用組裝式凈化用空氣處理機組一臺，風機風量為6000m3／h，機外余壓為800Pa，送風段設置兩條1250mmx800mm的送風管，向系統各房間送風。
1．2 系統存在的主要問題
(1)廠房內只對千級間黃光室設圍護結構，其余房間均為敞開式，凈化區域與非凈化區混合在一起，系統較為混亂，難以控制和調節，凈化區域的潔凈度不能達到要求；
(2)非凈化區域的擴散爐，經測定表面溫度可達50℃，散熱量非常大，在原有設計中存在空調送風量不足問題，造成擴散爐周圍區域的溫度高達37℃，并且回風循環使用，不利于節能；
(3)酸洗槽的排風量不足，平均斷面風速為O．1m／s，酸性物質存留在室內環境中，不能有效地排出，嚴重影響室內的衛生和生產環境；
(4)在廠房潔凈區入口處的風淋室風速為12m／s的要求，需要更換循環風機。
2 改造方案
針對系統運行中出現的的以上情況，經與甲
統風量計如表1所示。K-1系統經計算按照擴散爐的散熱量計算送風量，根據文獻【2】工業爐的散熱量，其中室內設計溫度取30℃，空調送風溫度取20℃，經計算擴散爐的總冷負荷為69kW，空調送風量為20700m3／h根據計算結果JK-2系統仍然采用以前的空調機組(系統機組外阻力為700Pa)，其余兩個系統分別采用新空調機組，其中因為機房位置的限制，JK-1系統空調機組設在原來的空調機機房內，K-1系統空調機組選用吊頂式空調機組，置于夾層內。
(2)JK-1系統在黃光室的入口增設風淋室，因無物流通道，設置傳遞窗，以保證室內的潔凈皮。
(3)JK-2系統主要存在兩個問題：第一是酸洗槽的排風罩設在酸洗槽的側面不利于有害氣體的排出，改造設計中將排風罩設在酸洗槽上方；第二酸洗槽的排風量根據生產要求，槽的斷面風速達到0．25m／s，當所有酸洗槽同時工作時，排風量高達32200m3／h，所以對排風的能源進行回收，設置防酸性熱回收裝置，風量排出前先與新風進行熱量交換進行熱量交換，節約運行費用。
(4)K-1系統，因為護散爐間人員極少進入，全年的運行方案為：夏季因擴散爐的散熱量較大，系統做成全排式；過渡季節當室外溫度低于送風溫度時，停止制冷，將新風作為冷源直接送入室內；冬季因為排風溫度較高，可用排風預熱新風到設計溫度后送入室內，最大限度地節省運行費用，避免能源的浪費。
3 改造后的使用效果
系統改造后經高度確保每個房間的風量、正壓達到設計要求，在動態下檢測，廠房的潔凈度、溫濕度、噪聲、照度等各項指標均達到設計要求。尤其是系統改造前問題比較突出的幾個區域，黃光室達到動態千級；護散爐區域經過彩鋼板圍護，其周圍區域溫度達到達設計要求；酸洗槽改為上抽風，斷面風速均達到0．3m／s;風淋室的初、高效過濾器更換后，阻力降低，更換循環風機后風速提高，出口風速達到26m／s。
本工程改造前主要特點表現在系統工藝布置不合理(未對凈化區及非凈化區時行明確劃分)、混用掙化及非凈化區空調系統，不符合“規范”的要求；酸洗槽排風量不足；護散爐區因送風少及未設局排設施導致環境溫度超標；改造后將生產工藝布局做了適當調整，按照規
范的要求，對凈化區及非凈化區單獨設置空調系統；加大酸洗槽排風量，同時采用了熱排風問收裝置，對補充新風進行預熱 (預冷)，節約能源，降低運行費用。建議在今后的空調工程設計中，對于生產環境有要求的工藝，既應該按照生產過程布置工藝，同時還要考慮到有利于空調凈化系統的調節和控制，保證生產環境的可靠性。
4 結論
K-1系統，因為護散爐間人員極少進入，全年的運行方案為：夏季因擴散爐的散熱量較大，系統做成全排式；過渡季節當室外溫度低于送風溫度時，停止制冷，將新風作為冷源直接送入室內；冬季因為排風溫度較高，可用排風預熱新風到設計溫度后送入室內，最大限度地節省運行費用，避免能源的浪費。
